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余海涛

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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刘民
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度计 测试装置 接口电路 锁相环 悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
左国民
供职机构：中国人民解放军防化指挥工程学院
研究主题：降解研究 悬臂梁 芥子气 TPD 降解
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金大重
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 激励线圈 驱动线圈 悬臂 硅微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘剑
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 悬臂 激励线圈 微机械传感器 驱动线圈
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
包菡涵
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 压阻传感器 高阶 悬臂梁 微悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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