2024年12月4日
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马云秀
作品数:
11
被引量:43
H指数:4
供职机构:
苏州工业园区星海实验中学
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文化科学
理学
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合作作者
叶超
苏州市第三中学校
宁兆元
苏州市第三中学校
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叶超
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)
研究主题:氟化非晶碳薄膜 低介电常数 F 等离子体 介电
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宁兆元
供职机构:苏州大学
研究主题:等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
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