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赵冀
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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合作作者
郑红军
中国科学院半导体研究所
朱蓉辉
中国科学院半导体研究所
卜俊鹏
中国科学院半导体研究所
惠峰
中国科学院半导体研究所
曾一平
中国科学院半导体研究所
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朱蓉辉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 微缺陷 晶片 GAAS 抛光
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郑红军
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 GAAS 砷化镓 抛光 亚表面损伤层
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所获资助
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卜俊鹏
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 GAAS 抛光晶片 抛光 亚表面损伤层
发表作品
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惠峰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 抛光晶片 GAAS SI-GAAS 晶片
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曾一平
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:分子束外延 衬底 碳化硅 氮化镓 缓冲层
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高永亮
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:微缺陷 VGF LEC 单晶生长 温控设备
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伊晓燕
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:发光二极管 氮化镓 多量子阱 衬底 蓝宝石
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郭金霞
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:氮化镓 发光二极管 发光器件 欧姆接触电极 电极
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王莉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:发光二极管 氮化镓 蓝宝石 发光器件 光提取效率
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季安
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:湿法腐蚀 MEMS压力传感器 干法刻蚀 自对准 淀积
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