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林妩媚

作品数：127 被引量：133H指数：7
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
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邢廷文
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖志杰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海波
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 光焦度 偏振 光轴 光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
白瑜
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光学设计 数值孔径 光焦度 大数值孔径 红外光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖志远
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：数值孔径 光焦度 大数值孔径 成像质量 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范真节
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：偏振 光刻技术 波片 视场 光学系统设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕保斌
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光焦度 大数值孔径 数值孔径 成像质量 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何毅
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：视场 照明系统 光焦度 补偿装置 均匀性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢亮
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 补偿装置 均匀性 掩模 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
甘大春
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 补偿装置 光束控制 均匀性 入射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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