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李昕欣

作品数:3 被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金:中国科学院“百人计划”更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

领域

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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董健
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:传感器 硅 反应离子刻蚀 过载保护 量程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑丹
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:传感器技术 传感器发展 压力传感器 化学技术 灵敏度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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