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景玉鹏

作品数：154 被引量：81H指数：6
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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欧毅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
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叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王磊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：临界态 光刻胶 二次谐波 硅片 厚层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高超群
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：气敏传感器 红外光 非制冷红外成像 谱式 二氧化碳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李全宝
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电磁驱动 微机电系统 平面线圈 射频微机电系统开关 传输线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘茂哲
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：静电 微机电系统 压室 半导体制冷 光谱分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
惠瑜
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 反应气体 二氧化碳超临界流体 二氧化碳 流量控制器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
康恒
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：真空规管 电极 半导体制造技术 光刻胶 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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