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张明亮
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36
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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国家自然科学基金
中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目
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合作作者
王晓东
中国科学院半导体研究所
杨富华
中国科学院半导体研究所
季安
中国科学院半导体研究所
王珍
中国科学院半导体研究所
刘杨
中国科学院半导体研究所
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 谐振器
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王晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 相变材料 微装配
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季安
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:湿法腐蚀 MEMS压力传感器 干法刻蚀 自对准 淀积
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王珍
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:纳米线结构 淀积 热电器件 光刻 蛇形
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赵永梅
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 刻蚀 碳化硅材料
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杨香
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 硅基 刻蚀 相变存储器 沟槽
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刘杨
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:谐振子 硼 高频谐振 硅纳米线 光接收机
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李兆峰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:微环谐振腔 场效应晶体管 硅 激光器 模斑转换器
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邓凌霄
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:热电性能 热电材料 锑化物 硅纳米线 热电
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宁瑾
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电极 牺牲层 MEMS 4H-SIC 谐振器
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