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张巍
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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隋永新
中国科学院长春光学精密机械与物...
倪明阳
中国科学院长春光学精密机械与物...
杨怀江
中国科学院长春光学精密机械与物...
巩岩
中国科学院长春光学精密机械与物...
赵磊
中国科学院长春光学精密机械与物...
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倪明阳
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 镜框 投影物镜 光刻物镜
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隋永新
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 光学检测 光学加工
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杨怀江
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 投影物镜 光学检测
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巩岩
供职机构:中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 投影物镜 光学设计 显微物镜
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赵磊
供职机构:大连理工大学
研究主题:光学元件 镜框 投影光刻物镜 像差 微动
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王学亮
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:压电陶瓷 光学元件 压电陶瓷驱动器 投影光刻物镜 镜框
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李显凌
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 投影光刻物镜 投影物镜 光刻物镜
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袁文全
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:投影物镜 光学元件 光刻物镜 镜框 调整装置
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张舸
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:碳化硅 素坯 陶瓷素坯 反应烧结碳化硅 大尺寸
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田伟
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 有限元法 光学检测 面形 镜框
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