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孙义林

作品数：7 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信核科学技术理学一般工业技术更多>>

合作作者

领域

  • 9个电子电信
  • 4个一般工业技术
  • 3个金属学及工艺
  • 3个电气工程
  • 3个核科学技术
  • 3个理学
  • 1个生物学
  • 1个化学工程
  • 1个自动化与计算...
  • 1个医药卫生

主题

  • 9个离子注入
  • 7个离子
  • 6个离子束
  • 6个SI
  • 5个离子源
  • 4个低能
  • 4个离子束辅助
  • 4个离子束辅助沉...
  • 4个离子束混合
  • 3个等离子体
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  • 3个砷化镓
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  • 3个高能
  • 2个等离子体增强
  • 2个低能离子注入

机构

  • 9个中国科学院上...
  • 5个中国科学院
  • 1个华东师范大学
  • 1个西南交通大学
  • 1个天津大学
  • 1个上海大学

资助

  • 6个国家自然科学...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
  • 2个德国洪堡基金
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个上海市自然科...
  • 1个上海市科学技...

传媒

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  • 5个核技术
  • 4个电子学报
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  • 3个材料研究学报
  • 2个科学通报
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  • 2个功能材料
  • 2个科技开发动态
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  • 1个上海金属

地区

  • 9个上海市
共 9 条 记 录，以下是 1-9
张福民
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 离子束辅助沉积 离子束 过渡金属催化剂 场发射显示器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牟海川
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束辅助沉积 溅射 离子注入 离子源 熔融玻璃
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
关安民
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 离子注入机 低能 硅 SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张玉春
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 离子束混合 离子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
柳襄怀
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋新元
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入机 离子源 MESFET SI 高能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李钧
供职机构：中国科学院上海原子核研究所
研究主题：离子注入机 离子源 超薄有源层 低能 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹德福
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 离子束混合 离子束 氧化层 高分辨率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
江炳尧
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束辅助沉积 离子注入 钼栅极 电子发射 低能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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