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于伟东
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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国家重点基础研究发展计划
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王曦
中国科学院上海微系统与信息技术...
张继华
电子科技大学微电子与固体电子学...
柳襄怀
中国科学院上海微系统与信息技术...
张福民
中国科学院上海微系统与信息技术...
冯涛
中国科学院上海微系统与信息技术...
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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张继华
供职机构:电子科技大学
研究主题:射频磁控溅射 BST 铁电薄膜 介电性能 基片
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柳襄怀
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
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张福民
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束辅助沉积 离子束 过渡金属催化剂 场发射显示器
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冯涛
供职机构:华东师范大学
研究主题:碳纳米管 场发射 离子束辅助沉积 场发射显示器 电子发射
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杨文伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:功率器件 击穿电压 SOI材料 LDMOS SOI_LDMOS
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董业民
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI工艺 注氧隔离 抗辐射 绝缘体 静电保护电路
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李琼
供职机构:华东师范大学
研究主题:场发射显示器 硅 碳纳米管 场发射阵列 冷阴极
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王永进
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:波导 反应离子刻蚀 制作方法 掺ER 沉积速率
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邹世昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
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