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齐克修
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中国科学院电工研究所
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游本章
中国科学院电工研究所
吴振华
中国科学院电工研究所
杨铁三
中国科学院电工研究所
黄经筒
中国科学院电工研究所
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杨铁三
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:氮化钛 变参数 界面结合力 物理气相沉积 色调
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游本章
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:离子镀膜 真空电弧 电弧 沉积速率 氮化钛
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黄经筒
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:真空电弧 离子镀膜 电弧 沉积速率 掩模
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吴振华
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:真空电弧 电弧 物理气相沉积 横向磁场 大电流
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