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游本章
作品数:
9
被引量:6
H指数:1
供职机构:
中国科学院电工研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
一般工业技术
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合作作者
黄经筒
中国科学院电工研究所
吴振华
中国科学院电工研究所
杨铁三
中国科学院电工研究所
任侠
中国科学院电工研究所
齐克修
中国科学院电工研究所
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作者
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游本章
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杨铁三
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年份
1篇
1995
1篇
1993
1篇
1992
4篇
1991
1篇
1989
1篇
1986
共
9
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离子镀膜技术的发展和应用
被引量:1
1989年
本文概述了离子镀膜技术的基本原理和特点,评述了几种主要的离子镀膜类型,综述了近几年来国内外离子镀膜技术的发展和应用.
游本章
关键词:
离子镀膜
表面处理
喷镀法
离子镀膜用高压单脉冲引弧装置
本实用新型属于电气装置,它所公开的一种用于引燃离子镀膜机阴阳极之间直流电弧的高压单脉冲引弧装置有两个特点:第一,能产生高压单脉冲,用于引燃离子镀膜机阴阳极之间的直流电弧;第二,整个引弧装置是附加在离子镀膜机主弧电源的输出...
游本章
黄经筒
文献传递
用于真空电弧离子镀膜的受控电弧蒸发源
吴振华
黄经筒
游本章
关键词:
离子镀
镀膜
电弧
真空沉积
离子源
阴极蒸发
大电流多弧斑受控真空电弧蒸发源
本发明属于薄膜沉积设备,是真空电弧离子镀膜机的核心部件。采用电磁线圈磁场控制电弧弧斑在阴极表面上的运动轨迹和速度,显著减少了蒸发源发射的金属液滴,提高了镀膜质量。蒸发源在200A以上的大电弧电流和与之相匹配的磁场下工作时...
吴振华
黄经筒
游本章
任侠
文献传递
大电流多弧斑受控真空电弧蒸发源
本发明涉及的大电流多弧斑受控真空电弧蒸发源,是真空电弧离子镀膜机的核心部件,由主弧电源、阴极、含电磁线路的磁路、水冷和点弧极组成,特点:主弧电源≥150A,电磁线圈为可调电流的电磁线圈,阴极为圆形阴极或复合阴极,在≥15...
吴振华
黄经筒
游本章
任侠
文献传递
碳氮化钛系列镀层离子镀工艺
本发明属于物理气相沉积工艺中碳氮化钛离子镀层工艺。现有的装饰镀层工艺是只解决和改进某种特定的单一色调的工艺。而本发明将表面色调与界面结合力等技术统一,采用变参数分层过渡和多元色调的独特工艺,获得了金色、紫色、褐色、枪色、...
杨铁三
黄经筒
游本章
齐克修
吴振华
文献传递
碳氮化钛系列镀层离子镀工艺
本发明属于物理气相沉积工艺中碳氮化钛离子镀层工艺。;现有的装饰镀层工艺是只解决和改进某种特定的单一色调的工艺。而本发明将表面色调与界面结合力等技术统一,采用变参数分层过渡和多元色调的独特工艺,获得了金色、紫色、褐色、枪色...
杨铁三
黄经筒
游本章
齐克修
吴振华
文献传递
用于真空电弧离子镀膜的受控电弧蒸发源
一、前言真空电弧离子镀膜是八十年代发展起来的新技术,因为它的蒸发离化源是靠真空电弧弧斑的局部高温蒸发和离化,离化率和离子能量都比以往的离子镀膜方法高,因而在工件加热温度较低的情况下就能得到附着力强而致密的薄膜,目前在工业...
吴振华
黄经筒
游本章
文献传递
用于真空电弧离子镀膜的受控电弧蒸发源
被引量:5
1992年
本文在研究了阴极弧斑运动规律的基础上,发展了多功能受控电弧蒸发源,它可在自由电弧状态下运行,而在200~250A高参数运行时,可使阴极弧斑覆盖几乎整个阴极表面且多轨迹旋转,使阴极烧蚀均匀,提高了镀膜沉积速率,薄膜质量也相应提高。研制的另一种环形阴极旋转电弧蒸发源,可基本消除液滴,使阴极利用率更高。
吴振华
黄经筒
游本章
关键词:
真空电弧
电弧
离子镀膜
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