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成荣
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朱煜
清华大学机械工程学院机械工程系
张鸣
清华大学机械工程学院机械工程系
杨开明
清华大学机械工程学院机械工程系
胡金春
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
尹文生
清华大学
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
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杨开明
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胡金春
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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尹文生
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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徐登峰
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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穆海华
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研究主题:光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
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李鑫
供职机构:清华大学
研究主题:平面电机 工件台 音圈电机 晶圆 光刻机
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王磊杰
供职机构:清华大学
研究主题:外差 位移测量系统 激光干涉 光刻系统 光栅
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刘召
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 激光干涉仪 大行程 激光干涉
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