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成荣

作品数：140 被引量：49H指数：4
供职机构：清华大学更多>>
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领域

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主题

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  • 35个传感器
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机构

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资助

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传媒

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地区

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  • 1个江苏省
  • 1个重庆市
共 45 条 记 录，以下是 1-10
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡金春
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
穆海华
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李鑫
供职机构：清华大学
研究主题：平面电机 工件台 音圈电机 晶圆 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王磊杰
供职机构：清华大学
研究主题：外差 位移测量系统 激光干涉 光刻系统 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘召
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 激光干涉仪 大行程 激光干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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