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刘大为
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冯彬
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刘丽华
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金振奎
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冯彬
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研究主题:磁控 镀膜设备 磁控溅射 溅射 离子枪
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鲁向群
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刘丽华
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研究主题:磁控 镀膜设备 磁控溅射靶 磁控溅射 法兰
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郭东民
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供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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王维
供职机构:中国科学院西安光学精密机械研究所
研究主题:光学诊断 光学测量技术 靶面 靶场 视场角
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