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刘召
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清华大学
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合作作者
杨开明
清华大学
张鸣
清华大学
尹文生
清华大学
朱煜
清华大学
徐登峰
清华大学
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
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尹文生
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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徐登峰
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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胡金春
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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穆海华
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
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成荣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 工件台 位移测量系统 激光干涉仪
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田丽
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 掩模 基台 气浮轴承
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刘昊
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 激光干涉仪 掩膜 套刻精度
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