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阮文彪
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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自动化与计算机技术
文化科学
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合作作者
陈岚
中国科学院微电子研究所
李志刚
中国科学院微电子研究所
叶甜春
中国科学院微电子研究所
杨飞
中国科学院微电子研究所
周隽雄
中国科学院微电子研究所
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陈岚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
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李志刚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属 冗余 淀积 集成电路版图 版图设计
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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王强
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属 耦合电容 内存系统 版图设计 集成电路制造工艺
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周隽雄
供职机构:中国科学院微电子研究所
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供职机构:中国科学院微电子研究所
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供职机构:中国科学院微电子研究所
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方晶晶
供职机构:中国科学院微电子研究所
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