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阚娅

作品数:22 被引量:49H指数:4
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
发文基金:国家自然科学基金中国科学院知识创新工程国家大科学工程更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程农业科学更多>>

领域

  • 25个机械工程
  • 25个电子电信
  • 25个理学
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  • 5个农业科学
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主题

  • 22个光刻
  • 16个衍射
  • 15个光源
  • 14个微电子
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  • 13个电铸
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  • 12个微电子机械
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机构

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  • 2个中国林科院
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  • 1个东南大学
  • 1个合肥工业大学
  • 1个华中农业大学
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资助

  • 24个国家自然科学...
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  • 13个国家教育部博...
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传媒

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地区

  • 19个安徽省
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28 条 记 录,以下是 1-10
田扬超
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术
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洪义麟
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
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胡一贯
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻 光刻掩模 LIGA技术 微细加工 LIGA
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张新夷
供职机构:复旦大学物理教学实验中心
研究主题:GAAS 砷化镓 软X射线 XAFS 光电子能谱
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刘刚
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:LIGA技术 光刻 波带片 X射线 LIGA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付绍军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陶晓明
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 软X射线 光刻掩模 全息光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭育华
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:脱模 有限元方法 LIGA PMMA 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱学林
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:PMMA 键合强度 脱模 有限元方法 微流控芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘刚
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻胶 光栅 水体 微流控芯片 成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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