您的位置： 专家智库 > >

石莎莉

作品数：88 被引量：30H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术化学工程更多>>

合作作者

领域

  • 41个电子电信
  • 33个一般工业技术
  • 30个自动化与计算...
  • 30个理学
  • 26个机械工程
  • 24个化学工程
  • 19个文化科学
  • 18个金属学及工艺
  • 15个电气工程
  • 8个交通运输工程
  • 8个医药卫生
  • 6个建筑科学
  • 6个航空宇航科学...
  • 6个环境科学与工...
  • 6个核科学技术
  • 5个生物学
  • 5个矿业工程
  • 5个轻工技术与工...
  • 4个经济管理
  • 3个动力工程及工...

主题

  • 32个光刻
  • 32个光学
  • 31个半导体
  • 28个刻蚀
  • 27个氮化
  • 27个微电子
  • 26个氮化硅
  • 26个纳米
  • 26个红外
  • 26个MEMS
  • 24个硅薄膜
  • 24个传感
  • 23个面阵
  • 23个焦平面
  • 23个焦平面阵列
  • 22个电路
  • 21个淀积
  • 20个单晶
  • 19个信号
  • 16个等离子体

机构

  • 48个中国科学院微...
  • 12个中国科学技术...
  • 7个中国科学院
  • 6个浙江大学
  • 4个嘉兴科民电子...
  • 3个清华大学
  • 2个中国科学院微...
  • 1个北京大学
  • 1个合肥工业大学
  • 1个北京空间飞行...
  • 1个辽宁工业大学
  • 1个兰州大学
  • 1个北京理工大学
  • 1个山东大学
  • 1个华南理工大学
  • 1个天津大学
  • 1个中北大学
  • 1个信息产业部电...
  • 1个北京信息技术...
  • 1个工业和信息化...

资助

  • 38个国家自然科学...
  • 28个国家高技术研...
  • 24个国家重点基础...
  • 16个国家科技重大...
  • 14个中国科学院科...
  • 11个中国博士后科...
  • 8个中国科学院知...
  • 7个中国科学院知...
  • 7个中央高校基本...
  • 5个江苏省自然科...
  • 4个国家科技攻关...
  • 4个“九五”国家...
  • 4个国家教育部博...
  • 3个北京市科技计...
  • 2个北京市自然科...
  • 2个安徽省高校青...
  • 2个高等学校科技...
  • 2个应用光学国家...
  • 2个中国科学院“...
  • 2个中国科学院微...

传媒

  • 24个Journa...
  • 24个电子工业专用...
  • 23个微纳电子技术
  • 18个半导体技术
  • 16个物理学报
  • 13个微细加工技术
  • 12个光学学报
  • 11个红外与激光工...
  • 11个光电工程
  • 10个红外与毫米波...
  • 9个实验力学
  • 9个无机材料学报
  • 9个真空科学与技...
  • 8个光子学报
  • 8个第十四届全国...
  • 7个固体电子学研...
  • 6个核技术
  • 6个第十二届全国...
  • 5个光学精密工程
  • 5个发光学报

地区

  • 46个北京市
  • 4个安徽省
  • 1个广东省
共 51 条 记 录，以下是 1-10
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 半导体制造技术 基片 化学吸附 前驱体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
万军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
饶志鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
欧毅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘键
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 ALGAN/GAN_HEMT ALGAN/GAN 氮化碳薄膜 氮化碳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共6页<123456>
聚类工具0