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李思坤
作品数:
163
被引量:170
H指数:9
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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合作作者
王向朝
中国科学院大学
闫观勇
中芯国际集成电路制造有限公司
步扬
中国科学院上海光学精密机械研究...
杨朝兴
中国科学院大学
张恒
中国科学院大学
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
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闫观勇
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
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步扬
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
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杨朝兴
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 光源 掩模 投影物镜 分辨率增强技术
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张恒
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:掩模 极紫外光刻 仿真方法 投影物镜 接触孔
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沈丽娜
供职机构:新疆师范大学物理与电子工程学院
研究主题:投影物镜 光刻机 大数值孔径 波像差 数值孔径
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刘晓雷
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:极紫外光刻 掩模 多层膜 仿真方法 紫外光刻
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王磊
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 光源 掩模 粒子群优化算法 投影物镜
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陈文静
供职机构:四川大学电子信息学院
研究主题:三维面形测量 傅里叶变换轮廓术 条纹分析 小波变换 傅里叶变换
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杨济硕
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 投影物镜 像差 主成分 光刻机
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