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李思坤

作品数：167 被引量：181H指数：9
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金上海市自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

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传媒

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地区

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  • 1个吉林省
  • 1个新疆
  • 1个浙江省
共 48 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫观勇
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
步扬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨朝兴
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光源 掩模 投影物镜 分辨率增强技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张恒
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 极紫外光刻 仿真方法 投影物镜 接触孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈丽娜
供职机构：新疆师范大学物理与电子工程学院
研究主题：投影物镜 光刻机 大数值孔径 波像差 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘晓雷
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：极紫外光刻 掩模 多层膜 仿真方法 紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王磊
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光源 掩模 粒子群优化算法 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈文静
供职机构：四川大学电子信息学院
研究主题：三维面形测量 傅里叶变换轮廓术 条纹分析 小波变换 傅里叶变换
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨济硕
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 投影物镜 像差 主成分 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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