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朱学林
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中国科学技术大学
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合作作者
田扬超
中国科学技术大学核科学技术学院...
王俊
中国科学技术大学核科学技术学院...
郭育华
中国科学技术大学核科学技术学院...
褚家如
中国科学技术大学工程科学学院精...
阚娅
中国科学技术大学核科学技术学院...
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田扬超
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术
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郭育华
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:脱模 有限元方法 LIGA PMMA 光刻
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王俊
供职机构:中国社会科学院考古研究所
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褚家如
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:飞秒激光 光纤 变形镜 微机电系统 刻蚀
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供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:LIGA技术 光刻 波带片 X射线 LIGA
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阚娅
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:光刻掩模 光刻 光刻胶 LIGA 牺牲层
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王翔
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:选区激光烧结 存储介质 电子设备 微细加工 粉末
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聂时振
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题:微细加工 硅 微器件 微电铸 电铸成型
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李国锋
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:微细加工 微结构 电流密度 有限元分析 有限元法
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黄文浩
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:飞秒激光 双光子 原子力显微镜 双光子激发 SPM
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