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张建明

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：国家纳米科学中心更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 3个一般工业技术
  • 2个化学工程
  • 2个金属学及工艺
  • 2个机械工程
  • 2个理学
  • 1个自动化与计算...
  • 1个文化科学

主题

  • 3个掩模
  • 3个掩模板
  • 3个数值孔径
  • 3个图案化
  • 3个微纳加工
  • 3个微纳米结构
  • 3个纳米
  • 3个金属
  • 3个金属薄膜
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  • 3个激光系统
  • 3个激光直写
  • 3个激光直写系统
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  • 2个电路
  • 2个调平
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  • 2个选择比
  • 2个氧化性
  • 2个正胶

机构

  • 3个国家纳米科学...
  • 1个中国科学院上...

资助

  • 2个北京市自然科...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个国家自然科学...
  • 2个中国科学院知...

传媒

  • 3个中国科技成果
  • 2个物理
  • 2个光子学报

地区

  • 3个北京市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
郭传飞
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：激光直写 产品尺寸 光电薄膜 二元合金 金属薄膜
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刘前
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：激光直写 金属薄膜 激光直写系统 基底 狭缝
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张浩然
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：激光直写 光刻胶 激光直写系统 褶皱 大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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