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向民

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

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地区

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共 12 条 记 录，以下是 1-10
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴亚明
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李毅
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：压电驱动 法布里-珀罗腔 光学滤波器 块结构 球面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘文平
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 传感器件 干法刻蚀技术 电阻温度系数 退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨艺榕
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：各向异性腐蚀 镜面 微机械光开关 微机械 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王文辉
供职机构：浙江大学
研究主题：硅 各向异性腐蚀 波导 制作方法 玻璃衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
解健芳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 硅 Y分支 光功率分配器 功率分配器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王浙辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：光开关 微机械 各向异性腐蚀 晶向 大位移
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐衍哲
供职机构：浙江大学信息与电子工程学系
研究主题：各向异性腐蚀 波导 波导器件 弯曲波导 阵列波导光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王东平
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：保护方法 牺牲层 深反应离子刻蚀 传感器 MEMS传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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