吴亚明
- 作品数：163 被引量：194H指数：7
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 一种波导和光纤的耦合方法
- 本发明涉及一种波导和光纤的耦合方法，其特征在于采用调节架单向调整光纤和波导，利用探测器监控方法确定光纤和波导相对位置，使用一对放电电极释放的放电电弧，熔融光纤和波导，达到低损耗的光纤和波导耦合的方法。其主要在于利用调节架...
- 吴亚明李四华
- 文献传递
- MEMS三轴加速度计及其制造方法
- 本发明提供了一种MEMS三轴加速度计及其制造方法。MEMS三轴加速度计包括敏感器件层、上盖板层和下支撑体层；敏感器件层与上盖板层、下支撑体层之间有间隙；敏感器件层包括支撑框体、弹性梁、三个独立的敏感质量块、可动梳齿、固定...
- 吴亚明杨丹琼徐静钟少龙
- 文献传递
- 微机械电磁阻尼结构分析
- 2007年
- 提出采用电磁阻尼结构来提高微机械角度调节装置的响应速度。通过建立结构模型和分析结构参数对阻尼效果的影响,给出具体设计实例以及制作工艺,证实该阻尼结构的有效性和可行性。
- 赵军徐静吴亚明
- 关键词：微机械电磁阻尼
- 一种微型CPT原子钟碱金属蒸汽腔的充气和封堵系统及方法
- 本发明涉及一种微型CPT原子钟碱金属蒸汽腔的充气和封堵方法及其系统，主要包括缓冲气体储气瓶、碱金属蒸汽储气瓶、真空室、MEMS圆片承载台、真空泵和激光封堵装置等部分。碱金属蒸汽腔MEMS圆片制作方法为在硅片上利用干法刻蚀...
- 吴亚明李绍良徐静
- 文献传递
- MEMS三轴加速度传感器及其制造方法
- 本发明提供了一种MEMS三轴加速度传感器及其制造方法。根据本发明的MEMS三轴加速度传感器包括支撑框体、弹性梁、敏感质量块、下支撑体、栅型敏感电容和引线电极；其中，敏感质量块通过弹性梁悬于支撑框体之间，支撑框体通过键合与...
- 吴亚明杨丹琼徐静钟少龙
- 文献传递
- 一种波导和光纤的耦合方法
- 本发明涉及一种波导和光纤的耦合方法，其特征在于采用调节架单向调整光纤和波导，利用探测器监控方法确定光纤和波导相对位置，使用一对放电电极释放的放电电弧，熔融光纤和波导，达到低损耗的光纤和波导耦合的方法。其主要在于利用调节架...
- 吴亚明李四华
- 文献传递
- 一种MEMS芯片的封装方法及封装结构
- 本发明一种MEMS芯片的封装方法及封装结构，该封装方法包括以下步骤：在MEMS晶圆上键合临时封装盖板，其中MEMS晶圆上包括多个间隔排列的MEMS芯片，临时封装盖板底面设有多个间隔排列的封环微结构使得每一MEMS芯片的上...
- 吴亚明夏彧虎凌必赟王潇悦周碧青
- 新型MEMS光学电流传感器的设计被引量：3
- 2006年
- 提出了一种用于检测50Hz高压交流电的新型MEMS光学电流传感器。详细介绍了器件的敏感与光学检测原理，给出了器件结构、温度补偿、滤波和工艺的设计过程，并模拟分析了器件在交流电100～3600A下的性能。结果表明：滤波后可得到稳定的测量光信号；温度变化±50K时相应的测试误差为0．2％；器件在大电流下的灵敏度优于0．02dB／A。
- 赵本刚刘玉菲徐静高翔吴亚明
- 关键词：微电子机械系统光学电流传感器滤波温度补偿
- 微型光纤磁传感器的设计与制作被引量：12
- 2013年
- 提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和光纤检测原理,介绍了器件综合设计方法,并给出了器件的结构参数。利用MEMS加工技术成功制作出了MEMS光纤磁传感器样品,最终得到的磁传感器的尺寸为3.7 mm×2.7 mm×0.5 mm。对磁传感器进行了实验测试,得到的输出实验值与理论值吻合。测试结果表明,该磁传感器的光纤检测灵敏度可达到0.65 dB/mT,最小可分辨磁场可达167 nT。将MEMS敏感结构与光纤检测相结合,该传感器兼备了两者的优点,结构紧凑、制作工艺简单、工作时无需电流激励。
- 龙亮钟少龙徐静吴亚明
- 关键词：光纤传感器磁传感器微机电系统磁性薄膜
- 集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器及应用
- 一种集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器及其在波长选择开关中的应用，其集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器15由单个集成光栅调制衰减器的微镜驱动器14阵列化排布获得。单个集成光栅调制衰减器的微镜驱动器14由下电极结构11，中...
- 吴亚明李四华
- 文献传递
