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刘宏伟
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
陈岚
中国科学院微电子研究所
方晶晶
中国科学院微电子研究所
孙艳
中国科学院微电子研究所
张贺
中国科学院微电子研究所
徐勤志
中国科学院微电子研究所
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陈岚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
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方晶晶
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 研磨 仿真方法 表面形貌 版图
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张贺
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 版图 网格 冗余 仿真方法
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孙艳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:网格 CMP 仿真方法 金属 冗余
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徐勤志
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:研磨 研磨液 CMP 化学机械研磨 表面形貌
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尹明会
供职机构:中国科学院微电子研究所
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张卫华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:标准单元库 工具包 电子设备 测试向量 测试系统
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周欢欢
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:标准单元库 工具包 电子设备 测试向量 测试系统
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王晨
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:标准单元库 工具包 集成电路 电子设备 测试向量
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尤云霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SIGE_HBT 有源电感 灵敏放大器 低噪声放大器 回转器
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