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刘兴刚

作品数：7 被引量：5H指数：2
供职机构：上海交通大学更多>>
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相关领域：电子电信一般工业技术电气工程理学更多>>

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共 5 条 记 录，以下是 1-5
张丛春
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统技术 磁控溅射 双稳态 热电偶 高温
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杨春生
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石金川
供职机构：上海交通大学
研究主题：磁控溅射 介电性能 铁电薄膜 沉积温度 CU互连
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁桂甫
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张楷亮
供职机构：上海交通大学
研究主题：互连结构 牺牲层 子层 柱子 图形化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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