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李东阳

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
发文基金：河北省社会科学基金更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

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河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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