2024年11月27日
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杨亚丽
作品数:
2
被引量:8
H指数:2
供职机构:
河北工业大学信息工程学院
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发文基金:
河北省自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
电气工程
动力工程及工程热物理
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合作作者
高慧
河北工业大学信息工程学院
陈国鹰
河北工业大学信息工程学院
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所获基金
研究领域
共
1
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河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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