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樊迪

作品数：2 被引量：5H指数：1
供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
发文基金：山东大学自主创新基金山东省自然科学基金山东省优秀中青年科学家科研奖励基金更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

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河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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