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郭伟进

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：西安工业大学光电工程学院光电微系统研究所更多>>
发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金陕西省教育厅科研计划项目西安工业大学校长基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

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西安工业大学光电工程学院光电微系统研究所
研究主题：虚拟仪器 等离子体刻蚀 刻蚀速率 腐蚀速率 键合
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