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汪群

作品数：2 被引量：8H指数：1
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

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合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：MEMS MEMS开关 ICP 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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