2024年12月5日
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李辉
作品数:
4
被引量:13
H指数:2
供职机构:
河北工业大学信息工程学院
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
孙以材
河北工业大学信息工程学院微电子...
邱美艳
河北工业大学信息工程学院微电子...
潘国锋
河北工业大学信息工程学院微电子...
杜鹏
河北工业大学信息工程学院微电子...
李金
河北工业大学信息工程学院
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相关作者
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河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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