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熊伟

作品数：18 被引量：18H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金中国科学院科研装备研制项目更多>>
相关领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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