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广明安

作品数：10 被引量：18H指数：3
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>

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中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 晶圆 全自动 多线切割机
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中南大学
研究主题：数值模拟 力学性能 影响因素 显微组织 高校
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中南大学机电工程学院
研究主题：仿真 数值模拟 有限元 有限元分析 液压系统
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