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潘志鹏

作品数：8 被引量：19H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项北京市科技新星计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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