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王泠

作品数：3 被引量：8H指数：2
供职机构：大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室更多>>
发文基金：大连市科技计划项目中央高校基本科研业务费专项资金国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：机械工程金属学及工艺航空宇航科学技术更多>>

合作作者

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大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室
研究主题：化学机械抛光 表面粗糙度 硅片 数值模拟 微电铸
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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