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邹灵浩
作品数:
20
被引量:29
H指数:3
供职机构:
大连理工大学
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发文基金:
中国人民解放军总装备部“十一五”预研基金
国家重点基础研究发展计划
中国人民解放军总装备部预研基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
文化科学
哲学宗教
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合作作者
孙长乐
大连理工大学机械工程学院精密与...
高航
大连理工大学机械工程学院精密与...
郭东明
大连理工大学机械工程学院精密与...
程志刚
华北工学院
薄瑞峰
中北大学
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大连理工大学
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研究主题:化学机械抛光 表面粗糙度 硅片 数值模拟 微电铸
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