您的位置： 专家智库 > >

张坤

作品数：57 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学文化科学更多>>

合作作者

共 1 条 记 录，以下是 1-1
中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>