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沈修成

作品数：12 被引量：30H指数：3
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金上海市科委纳米专项基金上海市科学技术委员会资助项目更多>>
相关领域：机械工程电气工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

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上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 力学性能 微电感 微陀螺
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上海交通大学
研究主题：数值模拟 神经网络 仿真 机器人 儿童
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上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 MEMS技术 碳纳米管 压电
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上海交通大学微纳科学技术研究院
研究主题：MEMS 微机电系统 微陀螺 碳纳米管 微电子机械系统
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