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石吟馨

作品数：7 被引量：12H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程更多>>

合作作者

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中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 芯片 金属 外延层 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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