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潘国锋

作品数：14 被引量：33H指数：4
供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术机械工程更多>>

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河北工业大学信息工程学院
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河北工业大学
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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：化学机械抛光 CMP 去除速率 卷积神经网络 抛光液
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