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袁国顺

作品数：81 被引量：135H指数：6
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项浙江省重大科技专项基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术轻工技术与工程理学更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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中国科学院
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中国科学院微电子中心
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