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李勇

作品数：12 被引量：6H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金江苏省科技支撑计划项目更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

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中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 芯片 外延层 金属 刻蚀
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