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宋文

作品数：7 被引量：7H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信交通运输工程更多>>

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中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 芯片 金属 外延层 刻蚀
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