2024年12月14日
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范宁
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7
被引量:0
H指数:0
供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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合作作者
李慧芝
中国电子科技集团公司第五十五研...
方俊
中国电子科技集团公司第五十五研...
吴金华
中国电子科技集团公司第五十五研...
金强宁
中国电子科技集团公司第五十五研...
余雷
中国电子科技集团公司第五十五研...
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:碳化硅 芯片 金属 外延层 刻蚀
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