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张锦文

作品数：51 被引量：139H指数：6
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术电气工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

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北京大学
研究主题：影响因素 实证研究 企业 高校 可持续发展
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北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题：集成电路 SOI MOSFET 硅 多晶硅
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北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 英文 硅 IEEE
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北京大学微电子学研究院
研究主题：MEMS 微机电系统 硅 集成电路 英文
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