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李忠良

作品数：50 被引量：32H指数：3
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

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中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 芯片 金属 外延层 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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