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吕荣华

作品数：5 被引量：3H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

共 2 条 记 录，以下是 1-2
中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 全自动 半导体设备
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
北京中电科电子装备有限公司
研究主题：晶圆 划片机 芯片 减薄 键合
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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