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宋朝辉

作品数：2 被引量：10H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 1篇电磁驱动
  • 1篇电容检测
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇压阻式加速度...
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元分析
  • 1篇振动
  • 1篇振动频率
  • 1篇速度传感器
  • 1篇陀螺
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械陀螺
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度传感器
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇宋朝辉
  • 1篇李昕欣
  • 1篇李欣昕
  • 1篇黄晖
  • 1篇郭南翔
  • 1篇王跃林
  • 1篇贾孟军
  • 1篇黄树森

传媒

  • 2篇微纳电子技术

年份

  • 2篇2003
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
电磁驱动电容检测微机械陀螺的设计被引量：4
2003年
介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理。该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量 ,故驱动和检测间的耦合大大地减小。本文从理论上分析了折叠梁结构参数对振动模态频率的影响 ,并针对初步确定的结构尺寸 ,利用COVENTERWARE软件进行了静力学和动力学分析 。
宋朝辉贾孟军李昕欣
关键词：电磁驱动电容检测微机械陀螺有限元分析
一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化被引量：6
2003年
给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理。该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率。基于分析模型 ,本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则。采用SOI硅片和深反应离子刻蚀 (DRIE)
黄树森郭南翔黄晖宋朝辉李欣昕王跃林
关键词：微机械压阻式加速度传感器离子刻蚀振动频率
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共1页<1>
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