马日红
- 作品数：6 被引量：6H指数：1
- 供职机构：北京航天控制仪器研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术交通运输工程机械工程金属学及工艺更多>>
- 一种耐BOE腐蚀的金属掩膜制备方法
- 本发明涉及一种耐BOE腐蚀的金属掩膜制备方法，特别是在石英晶体上镀制耐BOE腐蚀的金属掩膜层的制备方法。本发明具体包括清洗步骤和镀膜步骤。本发明的显著效果是：①实现了用单层Cr/Au掩膜层进行耐BOE腐蚀工艺；②解决了现...
- 马日红毕小伟梁德春马跃飞刘福民
- 石英振梁加速度计发展及工程化应用
- 石英振梁加速度计是一种基于振梁力频特性的新型数字化惯性仪表。介绍了仪表的工作原理、研究现状及发展、关键技术以及和石英挠性摆式加速度计的对比情况。给出了仪表的主要技术指标,偏值月重复性优于50μg,标度因数重复性优于10p...
- 毕小伟陈洸马跃飞马日红
- 关键词：加速度计惯性仪表惯性系统
- 文献传递
- 一种耐BOE腐蚀的金属掩膜制备方法
- 本发明涉及一种耐BOE腐蚀的金属掩膜制备方法，特别是在石英晶体上镀制耐BOE腐蚀的金属掩膜层的制备方法。本发明具体包括清洗步骤和镀膜步骤。本发明的显著效果是：①实现了用单层Cr/Au掩膜层进行耐BOE腐蚀工艺；②解决了现...
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- 文献传递
- 石英振梁加速度计温度特性及补偿研究被引量：6
- 2017年
- 首先推导了一种石英振梁加速度计偏值K_0、标度因数K_1的计算公式,并进行了K_1温度特性计算仿真,结果和试验数据相吻合。其次通过计算及试验验证,在-40℃~80℃范围内,双端固定谐振梁的温度特性曲线为抛物线,存在温度拐点,频率变化小于8Hz,同时给出了约束条件下谐振梁的温度试验结果。最后进行了仪表温度模型标定及补偿研究,试验结果表明:经过补偿,在工作温度范围内,仪表偏值变化优于1mg,标度因数变化优于5×10^(-5)。
- 毕小伟廖波勇马跃飞马日红邢朝洋
- 关键词：温度特性误差补偿
- 一种基于时钟移相的全数字频率测量系统
- 一种基于时钟移相的全数字频率测量系统，包括参考时钟模块、计数器模块、触发器模块、时分复用模块、寄存器模块、状态解码模块以及计算模块。参考时钟模块提供多路频率相同，但存在相位差的高频时钟信号，计数器模块对输入信号和一路高频...
- 毕小伟李兆涵马日红马跃飞邢朝洋庄海涵
- 文献传递
- 一种基于时钟移相的全数字频率测量系统
- 一种基于时钟移相的全数字频率测量系统，包括参考时钟模块、计数器模块、触发器模块、时分复用模块、寄存器模块、状态解码模块以及计算模块。参考时钟模块提供多路频率相同，但存在相位差的高频时钟信号，计数器模块对输入信号和一路高频...
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