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庄海涵

作品数：41 被引量：29H指数：3
供职机构：北京航天控制仪器研究所更多>>
发文基金：国防基础科研计划中国人民解放军总装备部预研基金北京市自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术交通运输工程航空宇航科学技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 32篇专利
  • 8篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 8篇自动化与计算...
  • 5篇交通运输工程
  • 3篇航空宇航科学...
  • 2篇化学工程
  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程

主题

  • 9篇芯片
  • 8篇陀螺
  • 7篇键合
  • 6篇电极
  • 6篇晶圆
  • 6篇刻蚀
  • 6篇MEMS陀螺
  • 4篇圆片
  • 4篇驱动电压
  • 4篇微机械
  • 4篇谐振
  • 4篇静电驱动
  • 4篇抗振性
  • 4篇键合工艺
  • 4篇封装
  • 4篇刚挠结合板
  • 4篇硅
  • 3篇应力
  • 3篇全硅
  • 3篇微机械陀螺

机构

  • 37篇北京航天控制...
  • 4篇中国航天

作者

  • 41篇庄海涵
  • 21篇邢朝洋
  • 21篇刘福民
  • 15篇徐宇新
  • 10篇梁德春
  • 8篇胡启方
  • 7篇李新坤
  • 7篇刘国文
  • 6篇王岩
  • 6篇孙鹏
  • 5篇曾宪超
  • 5篇李海兵
  • 5篇杨亮
  • 5篇刘宇
  • 4篇王巍
  • 4篇王学锋
  • 2篇马高印
  • 2篇张玲
  • 2篇孙丽艳
  • 2篇朱政强

传媒

  • 5篇中国惯性技术...
  • 1篇导航与控制
  • 1篇传感器与微系...
  • 1篇飞控与探测

年份

  • 3篇2021
  • 5篇2020
  • 10篇2019
  • 11篇2018
  • 6篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2013
  • 2篇2012
共 41 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种硅微惯性传感器抗冲击面外止挡结构
本发明公开了一种硅微惯性传感器抗冲击过载的面外止挡结构，通过在传感器敏感结构上、下基底上设置若干个凸点结构作为面外止挡结构，上、下基底上的面外止挡结构位置对应于中间质量块和梁结构在面外冲击时的最大位移处，且以质量块和梁结...
庄海涵杨静刘福民李新坤刘国文张乐明
文献传递
一种带有薄膜背腔结构的MEMS芯片裂片方法及支撑工装
本发明公开了一种带有薄膜背腔结构的MEMS芯片裂片方法及支撑工装，所述方法包括以下步骤：1)在晶圆正面进行MEMS芯片加工工艺，完成MEMS芯片正面工艺的制备；2)将晶圆正面与玻璃陪片贴在一起，在晶圆背面进行背腔的刻蚀，...
刘福民张树伟邱飞燕马高印孙鹏梅崴梁德春庄海涵
文献传递
硅微谐振加速度计交流检测信号解耦技术被引量：2
2012年
硅微谐振加速度计以高精度的频率信号输出及潜在的敏感结构与处理电路实现一次集成的优势,成为硅微传感器研制的热点之一。针对交流检测信号耦合效应对硅微谐振加速度计性能的重要影响,在分析硅微谐振加速度计工作机理的基础上,从结构和电路两方面研究了交流检测信号耦合效应的来源,分析了耦合效应对检测电路和闭环控制精度的影响。采用双质量块结构方案和电路优化设计所研制的硅微谐振加速度计,基频为15 kHz,标度因数为36 Hz/g,量程为±30 g。试验证明耦合效应对仪表性能的影响降低到0.3 mg以内。
王巍王岩庄海涵邢朝洋
关键词：闭环解耦
具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计
本发明具有温度应力补偿和振动解耦能力的硅微谐振加速度计，包括质量块，杠杆，杠杆支撑悬臂，谐振音叉，质量块支撑臂等主要组成部分。当加速计所处环境温度发生改变时，谐振梁的长度将随之改变。杠杆支撑悬臂的热变形大小与谐振梁热应变...
庄海涵王岩邢朝洋刘福民刘国文徐宇新张玲
一种基于时钟移相的全数字频率测量系统
一种基于时钟移相的全数字频率测量系统，包括参考时钟模块、计数器模块、触发器模块、时分复用模块、寄存器模块、状态解码模块以及计算模块。参考时钟模块提供多路频率相同，但存在相位差的高频时钟信号，计数器模块对输入信号和一路高频...
毕小伟李兆涵马日红马跃飞邢朝洋庄海涵
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一种基于阳极键合的全硅MEMS圆片级真空封装方法
本发明公开了一种基于阳极键合的全硅MEMS圆片级真空封装方法，在MEMS圆片级真空封装工艺中采用2次阳极键合实现了盖板、MEMS器件结构、衬底之间的机械和电信号连接，并形成了压力可控的MEMS密封腔体，和现有的基于硅‑硅...
胡启方李男男杨博邢朝洋梅崴徐宇新庄海涵
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一种卫星用微型自主时空确定单元
本发明提出了一种卫星用微型自主时空确定单元，包括MEMS陀螺、MEMS加速度计、双核处理器、微型原子钟、GNSS射频芯片、通讯接口单元芯片；本发明采用微型自主时空确定单元/卫星导航/星敏感器三种信息融合导航方式,互为补充...
王国栋杨亮李海兵曾宪超姚贺孙丽艳庄海涵孙鹏
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一种微机械静电驱动的直线型梳齿结构
一种微机械静电驱动的直线型梳齿结构，涉及微机械静电驱动技术领域；包括n组相同的直线形梳齿组；n组直线形梳齿组水平均匀分布在外部器件的水平侧壁上；每组直线形梳齿组包括静梳齿和动梳齿；静梳齿和动梳齿为交错配合的E型结构；在外...
庄海涵杨静刘福民刘国文
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一种MEMS器件圆片级真空封装方法
一种MEMS器件圆片级真空封装方法，步骤如下：(1)根据MEMS器件待引出的电极数量在低阻硅晶圆上刻蚀绝缘子的拓扑结构，单个拓扑结构中间的低阻硅用于MEMS器件的电学信号引出，记为低阻硅柱；(2)将上述拓扑结构氧化得到氧...
李男男胡启方刘福民邢朝洋庄海涵徐宇新王学亚孙俊强
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一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法
本发明公开了一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，包括如下步骤：刻蚀碳化硅晶圆，制作与盘式谐振子微结构相对应的刻蚀槽；对刻蚀完成的碳化硅晶圆和石英玻璃进行键合；以高于石英玻璃软化点的温度对晶圆键合结构进行加热，直至...
李新坤庄海涵梁德春王风娇吴浩越刘福民徐宇新王学锋
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